SUSCEPTEURS TSB597H82

Les mesures CV-Hg en 5 points n’ont données aucunes dispersions importantes ,ainsi le trou supposé en 8.3 n’a pu être révélé ,une mesure CV-HG 17 points s’impose .La mesure CV-Hg 17 points révèle une forte dispersion sur la plaque 1.2 (11.85%), il existe bien un trou, chose qui passait inaperçue en CV-Hg 5 points. (cf. résultats CV-Hg )

SUSCEPTEURS C/G5704223

Ce suscepteur n’a pas donné de dispersion assez importante en mesure CV-Hg 5 points ,mais une mesure en 17 points devrait révéler les trous supposés en 1.1 et 5.3 et leurs effets sur les plaques 2.1 ,6.3,8.1et 6.2 . (cf. résultats CV-Hg )

SUSCEPTEUR CBL58B234C

Seul le suscepteur CBL58B234C a révélé un trou en 1.2.Sur une SPEC 100µm-90ohms il est apparu une dispersion de la résistivité supérieure à 8%sur les plaques 1.2 et 2.3

Sur ces deux plaques ,a été lancée une SPEC 50µm-30ohms qui a donnée une dispersion inférieure à 8%.

En relançant sur une SPEC 100µm-90ohms mais avec un enrobage 3 (au lieu de 8) rien de concluant n’est apparu.
(cf. résultats CV-Hg)

SUSCEPTEUR CBL56G049C

Le suscepteur CBL56G049C a révélé un problème de transfert face arrière amplifié sur le trou supposé (en 3.1).Sur la SPEC 100µm-90ohms ,une dispersion supérieure à 8% est révélé sur les plaques 2.1 et 3.1.

Sur ces deux plaques ,a été lancée une SPEC 50µm-30ohms qui a donnée une dispersion inférieure à 8%.
(cf. résultats CV-Hg )
 

SUSCEPTEUR CBL58C040C

Ce suscepteur a bien révélé un trou en 3.2.Sur une SPEC 100µm-90ohms nous observons une dispersion très forte sur la plaque 4.3 (26.76%),les autres sont bien inférieure à 8%.Une CV-HG en 5 points nous semble donc pas suffisante pour détecter les problèmes qu’occasionnent les trous-suscepteurs.Une CV-HG en 17 points pourrait donc rendre compte de la situation,en effet ,elle révèle des dispersions supérieures à 8% (8-10%) sur les plaques 3.1,3.2,3.3 et 4.1,ainsi on remarque bien la faiblesse des mesures CV-Hg en 5 points. La plaque 4.3 donne une dispersion de l’ordre de 6% ce qui est bien inférieur à 26.76 % , la mesure en 5 points est donc fausse pour cette plaque . Sur la rangée trois (où se concentrent les problèmes de résistivité) a été lancée une SPEC 50µm-30ohms qui a donnée des dispersions bien inférieures à 8%.           (cf. résultats CV-Hg )

N.B

les essais ,sur 5 suscepteurs, ont été menés sur les réacteurs 4B et 9B ,avec un enrobage 8 par défaut