MAITRISE DE LA RESISTIVITE AUTOUR

DU TROU-SUSCEPTEUR
 
 

MESURES CV-Hg

SUSCEPTEURS TSB597H82

Les mesures CV-Hg en 5 points n’ont données aucunes dispersions importantes ,ainsi le trou supposé en 8.3 n’a pu être révélé ,une mesure CV-HG 17 points s’impose .La mesure CV-Hg 17 points révèle une forte dispersion sur la plaque 1.2 (11.85%), il existe bien un trou, chose qui passait inaperçue en CV-Hg 5 points. (cf. résultats CV-Hg page 2)

SUSCEPTEURS C/G5704223

Ce suscepteur n’a pas donné de dispersion assez importante en mesure CV-Hg 5 points ,mais une mesure en 17 points devrait révéler les trous supposés en 1.1 et 5.3 et leurs effets sur les plaques 2.1 ,6.3,8.1et 6.2 . (cf. résultats CV-Hg page 2)

SUSCEPTEUR CBL58B234C

Seul le suscepteur CBL58B234C a révélé un trou en 1.2.Sur une SPEC 100µm-90ohms il est apparu une dispersion de la résistivité supérieure à 8%sur les plaques 1.2 et 2.3

Sur ces deux plaques ,a été lancée une SPEC 50µm-30ohms qui a donnée une dispersion inférieure à 8%.

En relançant sur une SPEC 100µm-90ohms mais avec un enrobage 3 (au lieu de 8) rien de concluant n’est apparu. (cf. résultats CV-Hg page 2)

SUSCEPTEUR CBL56G049C

Le suscepteur CBL56G049C a révélé un problème de transfert face arrière amplifié sur le trou supposé (en 3.1).Sur la SPEC 100µm-90ohms ,une dispersion supérieure à 8% est révélé sur les plaques 2.1 et 3.1.

Sur ces deux plaques ,a été lancée une SPEC 50µm-30ohms qui a donnée une dispersion inférieure à 8%. (cf. résultats CV-Hg page 3)
 
 

SUSCEPTEUR CBL58C040C

Ce suscepteur a bien révélé un trou en 3.2.Sur une SPEC 100µm-90ohms nous observons une dispersion très forte sur la plaque 4.3 (26.76%),les autres sont bien inférieure à 8%.Une CV-HG en 5 points nous semble donc pas suffisante pour détecter les problèmes qu’occasionnent les trous-suscepteurs.Une CV-HG en 17 points pourrait donc rendre compte de la situation,en effet ,elle révèle des dispersions supérieures à 8% (8-10%) sur les plaques 3.1,3.2,3.3 et 4.1,ainsi on remarque bien la faiblesse des mesures CV-Hg en 5 points. La plaque 4.3 donne une dispersion de l’ordre de 6% ce qui est bien inférieur à 26.76 % , la mesure en 5 points est donc fausse pour cette plaque . Sur la rangée trois (où se concentrent les problèmes de résistivité) a été lancée une SPEC 50µm-30ohms qui a donnée des dispersions bien inférieures à 8%. (cf. résultats CV-Hg page 4)
 
 

Résultats des mesures CV-Hg

SUSCEPTEUR TSB597H82
SUSCEPTEUR TSB597H82
POSITION 
RUN  Données 1,3 7,2 7,3 8,2 8,3 1,2
4B81933 
Min RHO SL 
78,09
79,87
76,9
77,86
75,05
 77,6
Moyenne RHO SL 
80,3
82,52
79,2
82,59
78,87
 81,32
 
Max RHO SL 
81,59
85,33
83,6
87,83
81,82
 85,58
 
Dispersion RHO SL
2,182
3,305
4,26
6,038
4,293
 4,907
CV-Hg 5 pts 100µm-90ohm.cm
POSITION 
RUN  Données 1,2 1,3 8,3
4B81933  Min RHO SL 
66,03
78,34
73,4
Moyenne RHO SL 
79,66
82,26
79,2
Max RHO SL 
84,9
83,95
82,4
Dispersion RHO SL
11,85
3,406
5,68
CV-Hg 17 pts 100µm-90ohm.cm
SUSCEPTEUR C/G5704223
POSITION 
RUN  Données 1,1 1,2 2,1 2,2 4,2 4,3 5,2 5,3 6,2 6,3 8,2
4B81938  Min RHO SL 
70,91
75,58
68,6
70,4
72,11
77,4
77,46
74,6
73,47
69,65
78
Moyenne RHO SL 
75,09
76,96
73,2
74,53
75,21
79,1
78,85
79,1
76,76
76,3
79
Max RHO SL 
79,78
81,13
76,3
77,61
76,76
80,5
82,94
84,3
82,15
85,24
82
Dispersion RHO SL
5,906
3,6
5,272
4,837
3,0915
1,947
3,475
6,159
5,652
10,213
2,65
CV-Hg 5 pts 100µm-90ohm.cm
:trou non quantifié

SUSCEPTEUR CBL58B234C
 
POSITION 
RUN  Données 1,1 1,2 1,3 2,1 2,2 2,3 8,1 8,2 8,3
4B81936  Min RHO SL 
72,631
71,16
77,28
73,81
75,429
77,87
75,08
76,01
80,3
Moyenne RHO SL 
76,817
76,95
83,45
77,29
79,59
83,18
78,6
78,92
81,6
Max RHO SL 
80,487
84,05
88,31
82,23
83,536
93,63
81,72
82,44
82,22
Dispersion RHO SL
5,1135
8,377
6,608
5,448
5,093
9,474
4,225
4,074
1,176
CV-Hg 5 pts 100µm-90ohm.cm
                     
                   
POSITION 
RUN  Données 1,2 2,3
4B81944  Min RHO SL 
27,279
28,68
Moyenne RHO SL 
28,226
29,49
Max RHO SL 
29,535
30,42
Dispersion RHO SL
3,9964
2,95
CV-Hg 5 pts 50µm-30ohm.cm
POSITION 
RUN  Données 1,2 2,3
4B81944  Min RHO SL 
27,909
30,19
Moyenne RHO SL 
30,137
31,96
Max RHO SL 
31,875
33,47
Dispersion RHO SL
6,5799
5,12
CV-Hg 17 pts 50µm-30ohm.cm
POSITION 
RUN  Données 1,1 1,2 1,3 2,1 2,2 2,3 8,1 8,2 8,3
4B81949  Min RHO SL 
68,972
67,05
70,78
70,79
69,424
71,98
73,94
68
66,44
Moyenne RHO SL 
71,653
70,02
74,9
73,63
74,045
76,94
74,91
72,19
71,36
Max RHO SL 
74,997
76,54
78,09
77,58
80,079
81,17
76,44
75,55
75,46
Dispersion RHO SL
4,2043
6,776
4,875
4,605
7,1949
5,975
1,667
5,226
6,319
CV-Hg 5 pts 100µm-90ohm.cm/enrobage 3
:trou quantifié

SUSCEPTEUR CBL56G049C
 
POSITION 
RUN  Données 2,1 2,2 3,1 4,1
4B81941  Min RHO SL 
66,57
76,917
62,843
72,82
Moyenne RHO SL 
75,66
79,291
70,857
75,28
Max RHO SL 
80,71
81,998
76,439
78,44
Dispersion RHO SL
9,343
3,204
9,594
3,733
CV-Hg 5 pts 100µm-90ohm.cm
POSITION 
RUN  Données 2,1 3,1
Min RHO SL 
75,46
63,951
Moyenne RHO SL 
81,22
75,474
Max RHO SL 
85,62
81,074
Dispersion RHO SL
6,259
11,344
CV-Hg 17 pts 100µm-90ohm.cm
POSITION 
RUN  Données 2,1 3,1
4B81947  Min RHO SL 
27,42
24,767
Moyenne RHO SL 
28,91
27,078
Max RHO SL 
30,28
29,266
Dispersion RHO SL
4,947
8,3074
CV-Hg 5pts 50µm-30ohm.cm
:trou non quantifié avec problème de transfert amplifié

SUSCEPTEUR CBL58C040C
 
POSITION 
RUN  Données 2,1 2,2 2,3 3,1 3,2 3,3 4,1 4,2 4,3
9B81621  Min RHO SL 
72,23
73,84
70,38
68,61
67,8
69,7
70,12
71,18
42,71
Moyenne RHO SL 
75,43
76,53
72,49
73,1
72
72,27
75,64
74,24
68,02
Max RHO SL 
80,27
81,88
76,5
77,57
79,02
77,47
79,83
78,68
79,12
Dispersion RHO SL
5,328
5,256
4,223
6,13
7,794
5,374
6,423
5,052
26,76
CV-Hg 5pts 100µm-90ohm.cm
POSITION
RUN Données 2.1 2.2 2.3 3.1 3.2 3.3 4.1 4.2 4.3
9B81621 Min RHO SL 
70,5
70,34
69,1
66,75
63,49
65,91
67,78
68,44
69,13
Moyenne RHO SL 
76,27
76,06
75,17
74,96
73,29
73,07
76,39
75,4
75,1
Max RHO SL 
80,28
81,07
78,63
79,37
79,59
77,72
80,28
79,86
78,9
Dispersion RHO SL
6,411
7,054
6,339
8,418
10,98
8,081
8,182
7,573
6,504
CV-Hg 17 pts 100µm-90ohm.cm
POSITION 
RUN  Données 1,3 2,3 3,3 4,3 5,3 6,3 7,3 8,3
9B81632  Min RHO SL 
25,75
25,49
25,24
25,4
24,84
25,06
25,48
24,92
Moyenne RHO SL 
26,93
26,7
26,58
26,6
26,31
26,43
26,57
26,68
Max RHO SL 
27,84
27,73
27,77
27,88
27,16
27,44
27,51
27,36
Dispersion RHO SL
3,894
4,193
4,762
4,675
4,409
4,512
3,82
4,565
CV-Hg 17 pts 50µm-30ohm.cm
:trou quantifié

MESURE SCP






SUSCEPTEUR CBL58B234C

Ci-dessous les résultats des mesures SCP, sur une SPEC de 100µm-90ohm.cm.On remarque bien l’impact du trou en 1.2 sur les plaque 2.2,1.3 et 2.3 .
 
1.2
2.2
1.3
2.3

Ci-dessous les résultats des mesures SCP d’une SPEC de 50µm-30ohm.cm,on remarque que l’effet du
trou est encore visible sur la plaque 2.3 mais plus sur les autres.
 
1.2
2.3

 

SUSCEPTEUR TSB597H82

Les mesures ont révélées un trou en 8.3 au centre de la cellule ,sans effet visible sur les autres plaques.

SUSCEPTEUR CBL56G049C

Le trou en 3.1 est bien confirmé ,sans pour autant avoir affecté les autres plaques,seule la plaque 2.1
pourrait être affectée(sur une SPEC de 100µm-90ohm.cm).
 
 2.1
 3.1

  N.B

les essais ,sur 5 suscepteurs, ont été menés sur les réacteurs 4B et 9B ,avec un enrobage 8 par défaut1

Conclusion

Sur des SPECS à 90 ohm.cm,les trou-suscepteurs n’ont pas donnés de très grandes dispersions en CV-Hg(pour les plaques touchées entre 8 et 10%).Sur des SPECS à 30 ohm.cm,ces dispersions chutent assez rapidement. Les mesures SCP ont bien confirmés certains trous non quantifiés par une tache face arrière et leurs effets sur les autres plaques,confirmants ainsi les résultats des CV-Hg 17 points. Une mesure CV-Hg 17 points est donc suffisante pour déceler les dispersions trop grandes. Les trous-suscepteurs n’ont donc pas d’effet sur des SPEC inférieures à 30 ohm.cm ,par contre pour des SPEC supérieure à 30 ohm.cm ,les effet sur les plaques adjacentes ne sont pas négligeables. Les plaques touchées dans ce cas sont celles qui se trouvent à droite et en dessous du trou, pourvu que la dispersion sur le trou soit assez grande, soit supérieure à 10%. Si la dispersion sur trou n’est pas assez grande les autres plaques ne sont pas affectées, dans le cas contraire la première plaque affectée est celle à droite en dessous ,sa mesure en CV-Hg 17 points donne donc une information sur la plaque du dessus. En effet, si la dispersion est assez grande, la plaque du dessus est touchée, sinon la plaque est sauvée.
 

N.B

les essais ,sur 5 suscepteurs, ont été menés sur les réacteurs 4B et 9B ,avec un enrobage 8 par défaut

Mapings des suscepteurs utilisés
donnant la géométrie des trous-suscepteur

ces mapings ont été constitués suite à une recherche sur la base de données EPI et d'autres sources d' information, ainsi une liste de suscepteurs à trous a été constituée,ces trous sont bien sûre confirmés par des mesures CV-Hg et un contrôle visuel,
 

Pour le chargement(de substrat non conforme 5S0,plaques adjacentes au trou) se reporter aux feuilles pro,
 
1
2
3
4
5
6
7
8
N° SUSCEPTEUR : C/G5704223 N° de run : 4B81938
1
8
7
6
5
4
3
2
N° SUSCEPTEUR : TSB597H82 N° de run : 4B81933
 
trou suscepteur non quantifié

 
 
1
2
3
4
5
6
7
8
N° SUSCEPTEUR : CBL58B234C N° de run : 4B81936 ;4B81944 ;4B81949
1
2
3
4
5
6
7
8
N° SUSCEPTEUR : CBL56G049C N° de run : 4B81941 ;4B81947
1
2
3
4
5
6
7
8
N° SUSCEPTEUR :CBL58C040C N° de run :9B81621;9B81632
trou-suscepteur quantifié
pb de tansfert amplifié