***IMPLANT¿¡ °üÇØ °£·«È÷ ±â·ÏÇÑ °ÍÀÔ´Ï´Ù.*** |
ÀÌ¿Â ÅõÀÔ¹ýÀº ¿þÀÌÆÛÀÇ Ç¥¸éÀ§¿¡ »õ·Î¿î ÃþÀ» Çü¼ºÇÏÁö
¾Ê´Â´Ù´Â Á¡¿¡¼ ´Ù¸¥ ¹ÝµµÃ¼ °øÁ¤µé°ú ±¸ºÐÀÌ µË´Ï´Ù. ÀÌ¿¡ ´ë½ÅÇؼ ÀÌ¿ÂÅõÀÔ¹ýÀº ¿þÀÌÆÛÀÇ Ç¥¸éÀ§ÀÇ ¼¼¹ÐÇÑ ºÎºÐ¿¡ Àü±âÀû Ư¼ºÀ» º¯È½ÃÅ°´Âµ¥,ÀÌ¿Â ÅõÀÔ¹ýÀº °íÀü·ù °¡¼Ó°ü°ú Ưº°ÇÑ µµÆÝÆ®·Î¼ÀÇ ÀÌ¿ÂÀ» ¿þÀÌÆÛÀÇ Ç¥¸éÀ§¿¡ ½î¾ÆÁÖ±â À§ÇØ Àڱ⠳븮°³¿Í ¹æÇ⟸¦ »ç¿ëÇÕ´Ï´Ù. |
|
|
°¡ÀüÀÚ´ë ȤÀº p-typeÀÇ ¼ÒÀÚ¸¦ ¸¸µé±â À§ÇØ B, Ga,
In°ú °°Àº ¾÷¼ÁÅÍ ÀÌ¿ÂÀ» ÁÖÀÔÇϴµ¥ ¹Ý¸é¿¡ Àüµµ´ë¿Í n-typeÀÇ ¼ÒÀÚ¸¦ ¸¸µé±â À§Çؼ´Â Sb, As, P, Bi¿Í °°Àº ºÒ¼ø¹°À» ÁÖÀÔÇϱ⵵ ÇÕ´Ï´Ù.ÁÖÀÔ±â´Â ÀϹÝÀûÀ¸·Î 3mA ÀÌ»óÀÇ Àü·ù¸¦ °®´Â °íÀü·ù¿Í ±× ÀÌÇÏÀÇ ÁßÀü·ù·Î ±¸ºÐµË´Ï´Ù. |
|
ÀÌ¿Â ÁÖÀÔÀº ¿©·¯ °¡Áö ¹æ¹ýÀ¸·Î µµÆÝÆ®¿Í ´Ù¸¥ ¿øÀÚµéÀ» ¹ÝµµÃ¼ÀÇ Ç¥¸é °¡±îÀÌÀÇ ¿µ¿ªÀ¸·Î ÅõÀÔ½ÃÅ°´Â °ÍÀ» ¸»Çϴµ¥, ´õ Àº(Shallow)Á¢ÇÕ,´õ ³·Àº ÇÁ·Î¼¼½Ì ¿Âµµ, ±×¸®°í ´õ Á¤È®ÇÑ Á¶ÀýµîÀÌ ÇÊ¿äÇÑ °÷¿¡ »ç¿ëµÇ¾î ÀÖ½À´Ï´Ù. ´õ¿ì±â ÀÌ¿ÂÁÖÀÔ°úÁ¤Àº ºÒ¼ø¹°ÀÌ¿ÂÀÇ »ý¼º, 5eV¿¡¼ 1MeVÀdzôÀº ¿¡³ÊÁö·ÎÀÇ °¡¼Ó, ±×¸®°í ¹ÝµµÃ¼ ¼ÓÀ¸·Î ºÒ¼ø¹°µîÀÇ ÅõÀԵ »ç¿ëµÇ°í ÀÖ½À´Ï´Ù. ÁÖÀÔµÈ À̿µéÀº °æ·Î¸¦ µû¶ó °áÁ¤¼ÓÀ¸·Î µé¾î°¡ ¹ÝµµÃ¼ÀÇ ¿øÀÚ¸¦ ±³Ã¼Çϴµ¥ ÅõÀÔµÈ À̿µéÀÌ °ÝÀÚÂÊ À§¿¡ ¾ÈÁ¤µÇ´Â °ÍÀº ¾Æ´Ï±â ¶§¹®¿¡ ¾î´Ò¸µ(°¡¿)À» ÅëÇØ ¾ÈÁ¤È½ÃÄÑ ÁÖ¾î¾ß ÇÕ´Ï´Ù. |
|
¡¼ÀÌ¿ÂÁÖÀԽýºÅÛÀÇ µµ½ÄÈ¡½ |
°£°áÈµÈ ÀÌ¿ÂÁÖÀԽýºÅÛÀÇ ¸ðÇüµµ´Â À§ ±×¸²°ú °°Àºµ¥
¹Ù¶÷Á÷ÇÑ ºÒ¼ø¹°ÀÌ À̿µéÀº ±×¸²¿¡¼ ¸Ç ³¡¿¡ º¸¿©Áö´Â ÀÌ¿Â ¼Ò½º¿¡¼ »ý»êµË´Ï´Ù. À̿ºöÀº ¹Ì¸® ¸ÂÃß¾îÁø µ¿ÀÛÀüÀ§·Î °¡¼ÓµÇ°í ÃÊ´ýÀÌ ¸ÂÃß¾îÁ® ÃÖÁ¾ÀûÀ¸·Î´Â ¿þÀÌÆÛÀÇ Ç¥¸éÀ§·Î ÁÖ»çµË´Ï´Ù. ÁÖ»ç´Â ¿þÀÌÆÛ¸¦ ±â°èÀûÀ¸·Î ¿òÁ÷À̰ųª, Á¤Àü°èÀûÀ¸·Î ȤÀº µÎ °¡Áö ¹æ¹ýÀÇ Á¶ÇÕÀ¸·Î ÀÌ·ç¾î Áö´Âµ¥ ¿þÀÌÆÛ·ÎÀÇ Àü±âÀûÀÎ Á¢ÃËÀº ÁÖÀÔµÈ ÀÌ¿ÂÀ» ÁßÈÇϱâ À§ÇÑ ÀüÀÚÀÇ È帧À»
Çã¿ëÇÕ´Ï´Ù |