Mjitting fan de Soartlike wjerstān Side ophelle M/D/J:
de fjouwerpunts-metoade
YNHALD__

Fjouwer mjitpunten

Grutte blokken

Tinne lagen

Puntōfstān

Mjitstream

Mjitspanning

Temperatuer

Rūmtelading

Noaten

Nei boppen

Frysk.htm


Fjouwer mjitpunten

Grutte blokken

Tinne lagen

Puntōfstān

Mjitstream

Mjitspanning

Temperatuer

Rūmtelading

Noaten

Nei boppen

Frysk.htm


Fjouwer mjitpunten

Grutte blokken

Tinne lagen

Puntōfstān

Mjitstream

Mjitspanning

Temperatuer

Rūmtelading

Noaten

Nei boppen

Frysk.htm


Fjouwer mjitpunten

Grutte blokken

Tinne lagen

Puntōfstān

Mjitstream

Mjitspanning

Temperatuer

Rūmtelading

Noaten

Nei boppen

Frysk.htm


Fjouwer mjitpunten

Grutte blokken

Tinne lagen

Puntōfstān

Mjitstream

Mjitspanning

Temperatuer

Rūmtelading

Noaten

Nei boppen

Frysk.htm


Fjouwer mjitpunten

Grutte blokken

Tinne lagen

Puntōfstān

Mjitstream

Mjitspanning

Temperatuer

Rūmtelading

Noaten

Nei boppen

Frysk.htm


Fjouwer mjitpunten

Grutte blokken

Tinne lagen

Puntōfstān

Mjitstream

Mjitspanning

Temperatuer

Rūmtelading

Noaten

Nei boppen

Frysk.htm

Fjouwer mjitpunten
De elektryske soartlike wjerstān r is in wichtige eigenskip fan materialen, benammen yn de healgelieder-yndustry. De definysje is sa, dat in stźf mei in wjerstān fan 1 W, in langte fan 1 sm en in trochsneed fan 1 sm2 in r fan 1 Wcm hat. In faak brūkte metoade om r te mjitten is de fjouwerpunts-metoade, dy't ek brūkt wurdt om de ierdwjerstān fan tongerlieders te mjitten. De mjittings hjirre hawwe benammen betrekking op it materiaal monokristallyn silisium, mar de prinsipes binne algemien tapasber.

By de fjouwerpunts-metoade wurde fjouwer kontaktpunten op in rigele mei in ūnderlinge ōfstān s op it oerflak fan it te mjitten materiaal set (fig.1). Gewoanlik binne dat nullen mei hurdmetalen punten, dy't lagere binne yn saffieren gelieders. De ōfstān s fan 'e punten bedraacht meastentiids 0,635 of 1 mm.

Tusken de būtenste punten 1 en 4 wurdt in gelykstream I tafierd en tusken de binnenste punten 2 en 3 wurdt de dźrtroch ūntsteande spanning V2-3 metten. Op dizze wize wurdt de kontaktwjerstān fan 'e punten nei it materiaal net meimetten, wat wol it gefal wźze soe as wy mar twa punten brūkten. Dy kontaktwjerstān wurdt mei beskaat troch bysaken as in oxydelaach op it materiaaloerflak en soe dus fersluierjend wurkje.

Fig. 1.

Grutte blokken
By it fjouwerpuntssysteem is V2-3 no neffens Valdes1 op in heal-ūneinich2 blok materiaal gelyk oan

  V2-3 = Ir / 2ps (1)

[yn V, A, W, cm].

Is it blok tinner en hat it b.g. in tsjokte d, dan kin dy ynfloed berekkene wurde troch jin op in ōfstān d ūnder it ūnderflak ūnder de punten 1 en 4 firtuele streamboarnen q en -q te tinken, dy't har dan wer spegelje tsjin it boppeflak en dan wer tsjin it ūnderflak (fig. 2). Sa ūntsteane twa ūneinich trochrinnende rigen streamboarnen mei in ūnderlinge ōfstān fan 2d. Dy streamboarnen leverje dan ek in bydrage ta de spanning V2-3, dy't dan dus oars wurdt as neffens ferliking (1) te ferwachtsjen wie. Dy ynfloed is berekkene troch Valdes en noch yngeander toch Uhlir3, likegoed foar isolearjende as foar gelieden ūnderflakken en ek foar einige ōfmjittings yn horizontale rjochting.

It docht bliken dat de ynfloeden fan 'e firtuele streamboarnen (troch har tanimmende ōfstān ta de punten 2 en 3) neat mear śtmeitsje as d grutter is as 10 s en as de ōfstān fan 'e mjitpunten ta de sydflakken grutter is as 50 s. Under dy betingsten jildt ferliking (1) binnen 0,1%.

Fig. 2.

Tinne lagen
By tige tinne lagen wurde de korreksjes op (1) tige grut en kin mei foardiel śtgien wurde fan in oare benadering, dy't jūn is troch Smits4. Dźrby wurdt ūndersteld dat de fjouwer punten steane op in tige tinne laach, dy't horizontaal ūneinich is. Troch sirkel-yntegraasje kin dan op deselde wize as boppe de spanning berekkene wurde as

  V2-3 = (Ir / 2pd) ln4 (2)

Dy ferliking jildt binnen 0,1% foar d < 0,4 s. By gruttere tsjokten jildt net mear de oanname fan gelikense streamtichtens oer de hiele tsjokte en wurdt foar V2-3 in legere wearde fūn as dat neffens (2) te ferwachtsjen is. Dizze benadering is benammen fan praktysk nut foar tinne lagen op in PN-oergong, dy't ūnder normale kondysjes as in isolator beskōge wurde kin (mar sjoch by mjitstream en temperatuer).

Puntōfstān
In wichtich gegeven is de puntōfstān s. Net allinne komt dy yn ferliking (1) daliks foar, mar beide ferlikings jilde boppedat allinne as alle trije ōfstannen gelyk binnen. Ut de literatuer docht bliken dat foar tinne lagen V2-3 sa'n 14% grutter wurdt as neffens ferliking (2) as de binnenste puntōfstān 10% grutter is as it gemiddelde s. De absolute grutte fan s telt dźrby net mei. Dat wurdt lykwols oars by tsjokten > 0,4 s, dźr't ferliking (1) mei begjint te spyljen. Dźr kin dan in ōfwiking yn it gemiddelde s de ynfloed fan in ferkearde ōfstānsferhālding kompensearje. Dźrom is it gefaarlik om de op in tsjok itichblok fūne ōfwiking te brūken foar korreksje op mjittings oan tsjokten < 0,4s.

As de ōfwiking ūntstiet troch rūmte fan 'e nullen yn 'e lagers en de ōfstannen trochinoar krekt binne, dan kin de flater ferlytse wurde troch it gemiddelde te nimmen fan meardere mjittings efterinoar. Dat jildt fansels net foar systematyske ōfwikings lykas troch it ferbūgen fan'e nullen.

By it boppesteande is oannommen dat de ōfmjittings fan 'e kontakten ūneinich lyts binne. Mei in suver bolfoarmige punt op in polyste oerflak hoecht de trochsneed fan it kontaktplak ek net mear as inkelde mikrons te bedragen. Yn'e praktyk fertoane alle punten - sels dy śt it hurde wolframkarbide - nei in skoftke in ōfplatte kant mei in trochsneed fan tsientallen mikrons. By de gongbere puntdruk fan 80 oant 200 gram wurdt de druk per oerflakte-ienheid dan tige lyts, dat men soe ferwachtsje dat dan mar in part fan dy ōfplatte kant ta de gelieding bydraacht. Ferliking fan 'e resultaten mei nije en ōfsliten punten jout lykwols gjin signifikante ferskillen, dat blykber sit it effektive kontakt dochs altyd ticht by it sintrum fan 'e ōfplatte side. Mei yn 'e hannel te krijen mjitkoppen is in standertsprieding fan sawat 1% yn 'e mjitresultaten helber (op 2 Wcm N-type silisium mei polyste of mei 8 mikron karborundum slipe oerflak).

De mjitstream
Dy moat konstant wźze en moat foar it trochbrekken fan isolearjende lagen en blokkearre kontakt-dioaden in hege iepene spanning hawwe (by silisium 35V oant sa'n 10 Wcm). It is ferstannich om in yndykaasje fan eventueel fźstrinnen fan 'e streamboarne te hawwen. De stream moat net te lyts keazen wurde om gjin lźst te hawwen fan steurende ynfloeden lykas termospannings yn it materiaal of troch de kontaktdioaden lykrjochte heechfrekwint-spannings.

Oan'e oare kant moat de stream ek wer net te grut wźze om gjin lźst te hawwen fan ynjeksje fan minderheids-ladingsdragers oan de streamkontakten. Dy sille in gruttere ynfloed hawwe by in hege soartlike wjerstān (heechohmich materiaal), mar har oantal is wer lytser by in lytsere stream. Foar silisium is de eask no elegant te formulearjen troch te stellen dat V2-3 net grutter wźze mei as 20 mV by s=0,635 mm. By gruttere wearden nimt V2-3/I ōf, mar yn 'e praktyk giet de rekombinaasje sa hurd (benammen by slipe oerflakken), dat dy ynfloed earst by inkelde hūnderten mV te fernimmen is.

In sterker effekt hat de mjitstream by tinne lagen op in PN-oergong. Dźr kin de spanning tusken de gebieten ūnder de streampunten sa tanimme, dat de PN-oergong ūnder ien fan dy punten begjint te gelieden en dźrtroch ūnder de rest fan it meunster in blokkearspanning opbout, dy't in ekstra rūmteladingslaach feroarsaket (ferl. ūnder). Dźrtroch nimt by tanimmende stream I boppe in beskaat bedrach V2-3/I earst ta, oant de blokkearjende PN-oergong trochslacht en de wearde dramatysk ōfnimt. Dit effekt bliuwt ek foldwaande binnen de perken salang't V2-3 net grutter as 20 mV wurdt.

De mjitspanning
De waarnimming dźrfan jout de measte flaters. De grutste ynfloed giet śt fan de troch kontakten yntrodusearre wjerstannen, dy't foar elk kontakt sa'n tūzen kear sa grut binne as de soartlike wjerstān fan it materiaal, dus b.g. 1MW by r = 1000 Wcm. Yn dat gefal jout in yngongsympedānsje fan 50 MW fan in mjitter tusken de punten 2 en 3 dus al in 4% te lege oanwizing.

Fan noch mear belang is de ynfloed fan 'e isolaasje-wjerstān Ris tusken de yngong fan it mjitapparaat en ierde. Oer in blokkearjend streamkontakt kin nammentlik maklik 2 Volt stean, wat him dan ferdielt oer Ris en op 'en ūngeunstichsten oer mar ien fan 'e kontaktwjerstannen. Is dy 1 MW en Ris = 1000 MW , dan stiet oer de kontaktwjerstān 2 mV, wat by in mjitspanning fan b.g. 10 mV al 20% ōfwiking jout. Om dy reden moat Ris dochs wol minstens 10 000 MW bedrage, as men heechohmich materiaal mjitte wol.

Gewoane spanningsmjitters mei netfieding kinne net oan sokke hege easken foldwaan. Boppedat sille troch de kapasitive keppeling fia de nettrānsformator wikselstreamen troch de mjitkontakten streame. Troch dioade-eigenskippen fan dy kontakten wurde se dan lykrjochte, wat al by inkelde Wcm merkbere flaters feroarsaakje kin. De ta te passen spanningsmjitter sil dus in foldwaande isolearre sweevjende yngong hawwe moatte. In soarchfāldich opstelde spanningsmjitter mei batterij-fieding kin ek.

Temperatuer en ljocht
De soartlike wjerstān fan de measte materialen is temparatuerōfhinklik, foar silisium oant 0,8% de °C, ōfhinklik fan 'e soartlike wjerstān5. It is dźrom fan belang de mjittemperatuer te notearjen of te mjitten by in standert-temperatuer fan 23 °C. By oanfier śt oare rūmten sil oandacht bestege wurde moatte oan de ōfkoel- of opwaarmtiid, dy't by gruttere ōfmjittings fan 'e meunsters oeren oant dagen bedrage kin.

As ljocht op in dioade falt, wurdt dźr in spanning troch opwekt. Dat docht him benammen foar by lagen op in PN-oergong. Troch de altyd ūnegaal oer it meunster fersprate beljochting ūntsteane dan spanningsferskillen yn horizontale rjochting, dy't by de lege mjitspannings yn it mV-gebiet in grutte ynfloed op it mjitresultaat hawwe kinne. By spannings boppe 20mV ūntstiet noch in ekstra effekt, mei't it ljocht dan in sterke ynfloed op 'e blokkearjende PN-oergong hat. Sa kin foąr de by mjitstream neamde taname fan V2-3/I earst noch in ōfname ūntstean. Om dy reden moatte sokke meunsters metten wurde ūnder in totaal fertsjusterjende kap. By homogene meunsters is dat ūnder sa'n 1000 Wcm net nedich.

Ynfloed fan rūmtelading
Oan it oerflak fan healgelieders of oan it tuskenflak mei oare lagen foarmje har gauris rūmteladingslagen. Dat binne lagen dźr't de liedingsdragers troch elektrostatyske wurking śt wei treaun binne en dy't dźrom net beskikber binne foar elektryske gelieding. Op dy wize wurdt de effektive tsjokte fan 'e laach lytser en sil V2-3/I nei boppen ōfwike. It leit foar de hān dat ditsoarte ynfloeden it sterkst is by tinne lagen. Boppedat is it effekt it sterkst by lege dope-konsintraasjes (heechohmich materiaal), om't dźr de rūmteladingslagen folle tsjokker binne.

De grinzen fan dit effekt binne ūndersocht troch Kramer en van Ruyven6 en binne werjūn yn fig. 3 as funksje fan laachtsjokte d en dope-konsintraasje N. Yn it gebiet "No Correction" is de ynfloed minder as 1%, wylst yn it gebiet "Correction Area" korreksjes tapast wurde kinne. Yn it gebiet "No Reliable Measurement" binne de ynfloeden grutter as in faktor 2 en wurdt korreksje sinleas. Yn dat gebiet is de mjitting dus ūnmūglik. It artikel besprekt ek metoaden fan oerflakte-behanneling om it rūmteladingseffekt te ferminderjen.

By laachtsjokten < 0,5 mikron wurdt in ūnderlizzende PN-oergong troch plastyske ferfoarming as gefolch fan'e nulledruk ferneatige en is gjin mjitting mear mūglik. Ferleging fan 'e nulledruk ūnder 80 gram hat net folle sin, om't dan de kontaktwjerstān tefolle tanimt.


Fig. 3.

Noaten
1. L.B. Valdes, Proceedings of the IRE, 42, 420 (1954).
2. Mei "heal-ūneinich" is bedoeld ūneinich oan ien kant fan it mjitflak, dat dan dus it oerflak fan in fierders ūneinich blok materiaal is. Valdes hat syn resultaat berekkene troch bol-yntegraasje fan de stream śt elk fan beide streampunten wei tusken s en 2s. Dy resultaten wurde opteld en dat jout de faktor 2.
3. A. Uhlir, Bell Syst. Tech. J. 34, 105 (1955).
4. F.M. Smits, Bell Syst. Tech. J. 37, 711 (1958).
5. W.M. Bullis e.a., Solid-St. Electron., 11, 639 (1968).
6. P. Kramer and L.J. van Ruyven, Solid-St. Electron., 20, 1011 (1977).