ธาตุกึ่งโลหะ (อ.: metalloids) เป็นธาตุในอนุกรมเคมี ที่มีสมบัติทั้งทางเคมีและฟิสิกส์อยู่กึ่งกลางระหว่างโลหะและอโลหะ

คุณสมบัติสำคัญที่ใช้จำแนกประเภทของธาตุเหล่านี้คือคุณสมบัติการนำไฟฟ้า ธาตุกึ่งโลหะส่วนใหญ่จะเป็นสารกึ่งตัวนำ(semiconductors)

ธาตุกึ่งโลหะในตารางธาตุ ได้แก่

1. โบรอน (Boron (B))
2. ซิลิกอน (Silicon (Si))
3. เจอร์เมเนียม(Germanium (Ge))
4. สารหนู(Arsenic (As))
5. พลวง(Antimony (Sb))
6. เทลลูเรียม(Tellurium (Te))
7. พอโลเนียม(Polonium (Po))